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Catalogue de produits pour ... Fabrication et industrie Specialty Fluids  Format d'imprimante convivial 3M™ Specialty Gases Specialty gases are used in removing material buildup from chemical vapor deposition (CVD) reactor chambers in semiconductor manufacturing. Offers reduced emission, lower gas usage rates and faster chamber cleaning. Sélectionner 3M™ Specialty Gas PFG-3218 PFG-3218 gas (C3F8) lowers gas useage and PFC emissions in CVD chamber cleaning while maintaining a level of cleaning performance comparable to C2F6. 3M™ Specialty Gas PFG-3480 PFG-3480 gas (C4F8O) dramatically lowers PFC emissions in CVD chamber cleaning, offering both economic and environmental advantages. 3M™ Specialty Gas PFG-5040 PFG-5040 is used in thermal management applications.

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